В. А. Юзова , Г. Н. Шелованова - Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники: пособие по курсовой работе

электроники и наноэлектроники. Пособие по курсовой работе

7

1. СТРУКТУРА КУРСОВОЙ РАБОТЫ
И ТРЕБОВАНИЯ ПО ОФОРМЛЕНИЮ
Тематика курсовой работы связана с аттестацией полупроводниковой
твердотельной среды, выполненной в виде подложек.
Курсовая работа состоит из двух частей: теоретической и экспериментальной.
В теоретической части курсовой работы следует ознакомиться и проанализировать существующие технологии обработки поверхностей подложек
электроники и наноэлектроники. Разработать и описать одну из возможных
типовых технологических схем обработки поверхности полупроводниковой
подложки, выполненной из заданного материала. Рекомендуется следующий
план изложения теоретического материала:
1. Характеристика общей схемы технологического процесса обработки
полупроводниковой подложки.
2. Описание типового процесса шлифования подложек.
3. Типовой процесс полирования поверхности полупроводников.
4. Перспективы в обработке полупроводниковых подложек.
При описании типовых процессов шлифования и полирования нужно
рассмотреть следующие вопросы:
 цели и особенности каждого этапа процесса обработки;
 используемые абразивы;
 типы полировальников;
 способы крепления подложек к планшайбам (шлифовальным и полировальным головкам);
 способы приготовления суспензий или паст;
 требования к технологическим режимам,
 выходные параметры подложек после каждой стадии обработки.
Экспериментальная часть курсовой работы должна быть посвящена
аттестации подложек по физико-химическим параметрам. В этой части курсовой работы требуется экспериментально определить:
 фазовый состав материала подложки;
 кристаллографическую ориентацию поверхности подложки;
 кристаллическую структуру материала;
 плотность дислокаций;
 удельное сопротивление;
 тип электропроводности;
 подвижность основных носителей;
 диффузионную длину и время жизни неосновных носителей.
В данной курсовой работе не предполагается выполнение графической
части. Пояснительная записка оформляется в соответствии с [7] (СТО 4.2-07–
2008).
Пример оформления титульного листа приведен на рис. 1.1. Титульный
лист заполняют с соблюдением следующих размеров полей: справа – не менее 10 мм; сверху, снизу и слева – не менее 20 мм.


Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники. Пособие по курсовой работе

8

1. СТРУКТУРА КУРСОВОЙ РАБОТЫ И ТРЕБОВАНИЯ ПО ОФОРМЛЕНИЮ

Первым листом пояснительной записки является лист задания, пример
оформления которого дан на рис. 1.2. Далее приводят содержание, которое
оформляется согласно [7, подраздел 6.6] (СТО 4.2-07–2008). После содержания располагают основную часть пояснительной записки, включающую два
раздела. В одном излагают теоретический материал по теме курсовой работы, в другом приводят описание эксперимента.
Заголовки разделов начинают с абзацного отступа, печатают с прописной буквы, без точки в конце, не подчеркивая. Если заголовок состоит из
двух предложений, их отделяют точкой. Разделы нумеруют арабскими цифрами, номер проставляют перед заголовком раздела. Текст разделов, при
необходимости, разбивают на подразделы, пункты и подпункты, которые
нумеруют в пределах каждого раздела.
Пример
1, 2, 3 и т. д. – нумерация разделов;
1.1; 1.2; 1.3 и т. д. – нумерация подразделов первого раздела;
1.1.1; 1.1.2; и т. д. – нумерация пунктов в первом подразделе первого
раздела.
Заголовки разделов и подразделов отделяют от текста интервалом
в одну строку.
Федеральное государственное образовательное учреждение
высшего профессионального образования
«СИБИРСКИЙ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ»
______________________________________________
Институт

_________________________________________________________________
Кафедра

КУРСОВАЯ РАБОТА
____________________________________________________
(Тема работы)

_________________________________________________________________
____________________________________________________
Пояснительная записка

Преподаватель

__________
подпись, дата

_____________
инициалы, фамилия

Студент ______________

__________

_____________

код (номер) группы

подпись, дата

инициалы, фамилия

Красноярск 20__
Рис. 1.1. Пример оформления титульного листа пояснительной записки курсовой работы


Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники. Пособие по курсовой работе

9

1. СТРУКТУРА КУРСОВОЙ РАБОТЫ И --">