В. А. Юзова , Г. Н. Шелованова - Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники: пособие по курсовой работе

УДК 621.38(075)
ББК 32.85я73
Ю20
Электронный учебно-методический комплекс по дисциплине «Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники» подготовлен в рамках реализации Программы развития федерального государственного образовательного учреждения высшего профессионального образования «Сибирский федеральный университет»
(СФУ) на 2007–2010 гг.
Рецензенты:
Красноярский краевой фонд науки;
Экспертная комиссия СФУ по подготовке учебно-методических комплексов дисциплин

Ю20

Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники
[Электронный ресурс] : пособие по курсовой работе / сост. : В. А. Юзова,
Г. Н. Шелованова. – Электрон. дан. (5 Мб). – Красноярск : ИПК СФУ, 2009. –
(Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники : УМКД
№ 1524/1092–2008 / рук. творч. коллектива Г. Н. Шелованова). – 1 электрон.
опт. диск (DVD). – Систем. требования : Intel Pentium (или аналогичный процессор других производителей) 1 ГГц ; 512 Мб оперативной памяти ; 50 Мб
свободного дискового пространства ; привод DVD ; операционная система Microsoft Windows XP SP 2 / Vista (32 бит) ; Adobe Reader 7.0 (или аналогичный
продукт для чтения файлов формата pdf).
ISBN 978-5-7638-1686-0 (комплекса)
Номер гос. регистрации в ФГУП НТЦ «Информрегистр» 0320902505 (комплекса)
Настоящее издание является частью электронного учебно-методического комплекса по дисциплине «Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники», включающего учебную программу дисциплины, курс лекций, лабораторный практикум, методические указания по самостоятельной работе, контрольноизмерительные материалы «Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники. Банк тестовых заданий», наглядное пособие «Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники. Презентационные материалы».
В данном пособии по курсовой работе изложены структура курсовой работы, требования по ее оформлению, задания, семестровый график, методики выполнения курсовой работы, приведен библиографический список.
Предназначено для студентов подготовки магистров 210100.68 «Электроника и
наноэлектроника», укрупненной группы «Электронная техника, радиотехника и
связь».
© Сибирский федеральный университет, 2009
Рекомендовано к изданию Инновационно-методическим управлением СФУ
Редактор Л. И. Вейсова

Разработка и оформление электронного образовательного ресурса: Центр технологий электронного обучения Информационно-телекоммуникационного комплекса СФУ; лаборатория
по разработке мультимедийных электронных образовательных ресурсов при КрЦНИТ
Содержимое ресурса охраняется законом об авторском праве. Несанкционированное копирование и использование данного продукта запрещается. Встречающиеся названия программного обеспечения, изделий, устройств или систем могут являться зарегистрированными товарными знаками тех или иных фирм.

Подп. к использованию 30.11.2009
Объем 5 Мб
Красноярск: СФУ, 660041, Красноярск, пр. Свободный, 79

Оглавление

ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ ..................................................... 6
1. СТРУКТУРА КУРСОВОЙ РАБОТЫ И ТРЕБОВАНИЯ
ПО ОФОРМЛЕНИЮ ...................................................... 8
2. ЗАДАНИЕ НА КУРСОВУЮ РАБОТУ ....................... 12
3. СЕМЕСТРОВЫЙ ГРАФИК ВЫПОЛНЕНИЯ
КУРСОВОЙ РАБОТЫ ................................................. 14
4. ТЕХНОЛОГИЯ ПОЛУЧЕНИЯ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПОДЛОЖЕК
ЭЛЕКТРОНИКИ И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ. МЕТОДИКА
ВЫПОЛНЕНИЯ ТЕОРЕТИЧЕСКОЙ ЧАСТИ............... 16
4.1. Параметры полупроводниковых подложек
и требования к ним.................................................................................... 16
4.2. Классификация абразивных материалов
и их основные параметры ....................................................................... 20
4.3. Зернистость порошков абразивных материалов
и их обозначение ....................................................................................... 23
4.4. Общая характеристика абразивов................................................... 27
4.5. Ультрадисперсные алмазные порошки и их свойства ............... 33
4.6. Взаимодействие единичного алмазного зерна
с обрабатываемой поверхностью.......................................................... 39
4.7. Шлифование полупроводниковых подложек............................... 43
4.7.1. Классификация методов шлифования ...................................................... 43
4.7.2. Шлифование свободным абразивом......................................................... 44
4.7.3. Оборудование и технологические приемы
при шлифовании свободным абразивом ........................................................... 48
4.7.4. Приготовление суспензий для шлифования ............................................ 50
4.7.5 Шлифование --">