В. А. Юзова , Г. Н. Шелованова - Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники: лаб. практикум

УДК 621.38(075)
ББК 32.85я73
Ю20
Электронный учебно-методический комплекс по дисциплине «Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники» подготовлен в рамках реализации Программы развития федерального государственного образовательного учреждения высшего профессионального образования «Сибирский федеральный университет»
(СФУ) на 2007–2010 гг.
Рецензенты:
Красноярский краевой фонд науки;
Экспертная комиссия СФУ по подготовке учебно-методических комплексов дисциплин

Ю20

Юзова, В. А.
Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники
[Электронный ресурс] : лаб. практикум / В. А. Юзова, Г. Н. Шелованова. –
Электрон. дан. (4 Мб). – Красноярск : ИПК СФУ, 2009. – (Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники : УМКД № 1524/1092–2008 /
рук. творч. коллектива Г. Н. Шелованова). – 1 электрон. опт. диск (DVD). –
Систем. требования : Intel Pentium (или аналогичный процессор других производителей) 1 ГГц ; 512 Мб оперативной памяти ; 50 Мб свободного дискового
пространства ; привод DVD ; операционная система Microsoft Windows
XP SP 2 / Vista (32 бит) ; Adobe Reader 7.0 (или аналогичный продукт для чтения файлов формата pdf).
ISBN 978-5-7638-1686-0 (комплекса)
ISBN 978-5-7638-1755-3 (лабораторного практикума)
Номер гос. регистрации в ФГУП НТЦ «Информрегистр» 0320902505 (комплекса)
Настоящее издание является частью электронного учебно-методического комплекса по дисциплине «Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники», включающего учебную программу дисциплины, курс лекций, пособие по
курсовой работе, методические указания по самостоятельной работе, контрольноизмерительные материалы «Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники. Банк тестовых заданий», наглядное пособие «Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники. Презентационные материалы».
В лабораторном практикуме в соответствии с учебной программой дисциплины
приведены четыре лабораторные работы, изложены краткие теоретические сведения,
необходимые для подготовки и выполнения работ, даны описание технологического и
измерительного оборудования, задания и порядок их выполнения, контрольные вопросы.
Предназначен для студентов направления подготовки магистров 210100.68
«Электроника и микроэлектроника» укрупненной группы 210000 «Электроника, радиотехника и связь», а также может быть использован всеми интересующимися электроникой и наноэлектроникой.
© Сибирский федеральный университет, 2009
Рекомендовано к изданию Инновационно-методическим управлением СФУ
Редактор Л. И. Вейсова

Разработка и оформление электронного образовательного ресурса: Центр технологий электронного обучения Информационно-телекоммуникационного комплекса СФУ; лаборатория
по разработке мультимедийных электронных образовательных ресурсов при КрЦНИТ
Содержимое ресурса охраняется законом об авторском праве. Несанкционированное копирование и использование данного продукта запрещается. Встречающиеся названия программного обеспечения, изделий, устройств или систем могут являться зарегистрированными товарными знаками тех или иных фирм.

Подп. к использованию 30.11.2009
Объем 4 Мб
Красноярск: СФУ, 660041, Красноярск, пр. Свободный, 79

Оглавление
Введение ..................................................................... 6
1. Лабораторная работа № 1. ................................. 10
ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА ФОРМИРОВАНИЯ
ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ НИЗКОРАЗМЕРНОЙ
СРЕДЫ ДЛЯ СОЗДАНИЯ УСТРОЙСТВ
НАНОЭЛЕКТРОНИКИ................................................ 10
1.1. Цель работы .......................................................................................... 10
1.2. Задачи лабораторной работы ............................................................ 10
1.3. Теоретические сведения ..................................................................... 11

1.3.1. Актуальность использования низкоразмерного кремния в
производстве изделий микро- и наноэлектроники ........................................... 11
1.3.2. Физические принципы создания низкоразмерного кремния ................ 14
1.3.3. Вольтамперные характеристики при формировании низкоразмерного
кремния ..................................................................................................................... 18
1.3.4. Структурные модификации пористого кремния ...................................... 20
1.3.5. Электрохимические реакции в системе «кремний – электролит»......... 23
1.3.6. Электрохимические ячейки для формирования низкоразмерного
кремния ..................................................................................................................... 24
1.3.7. Электролиты для процесса анодирования --">