Г. Н. Шелованова - Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники: курс лекций

............................................... 27
3.2. Газофазная эпитаксия из металлоорганических соединений.................... 31
Вопросы для самопроверки ..................................................................................... 34

ЛЕКЦИЯ 4 СОЗДАНИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫХ
УСТРОЙСТВ МЕТОДАМИ ЛИТОГРАФИИ ............... 35

4.1. Традиционная фотолитография и ее проблемы............................................ 35
4.2. Электронно-лучевая литография ..................................................................... 43
4.3. Рентгеновская литография ................................................................................ 52
Вопросы для самопроверки ..................................................................................... 56

ЛЕКЦИЯ 5 ЛИТОГРАФИЯ ВЫСОКОГО
РАЗРЕШЕНИЯ ........................................................... 57
5.1. Методы безмасочной технологии ..................................................................... 57
5.2. Электронный и ионный луч как инструмент современной технологии .... 59
Вопросы для самопроверки ..................................................................................... 63

 Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники. Курс лекций

3

ОГЛАВЛЕНИЕ

ЛЕКЦИЯ 6 КВАНТОВЫЕ ОСНОВЫ
НАНОИНЖЕНЕРИИ ................................................... 64
6.1. Эффект размерного квантования ..................................................................... 64
6.2. Квантовое ограничение ...................................................................................... 67
6.3. Интерференционные эффекты ......................................................................... 69
6.4. Туннелирование ................................................................................................... 70
6.5. Устройства на основе квантовых эффектов .................................................. 74
Вопросы для самопроверки ..................................................................................... 78

ЛЕКЦИЯ 7 НИЗКОРАЗМЕРНЫЕ КРЕМНИЕВЫЕ
СРЕДЫ ....................................................................... 79

7.1. Актуальность использования низкоразмерного кремния в производстве
изделий микро- и наноэлектроники......................................................................... 79
7.2. Формирование низкоразмерного кремния ...................................................... 82
7.3. Структурные модификации пористого кремния ............................................ 84
7.4. Применение низкоразмерного кремния ........................................................... 85
Вопросы для самопроверки ..................................................................................... 89

ЛЕКЦИЯ 8 ТЕХНОЛОГИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК
И МНОГОСЛОЙНЫХ СТРУКТУР ............................. 90

8.1. Введение ............................................................................................................... 90
8.2. Механизмы эпитаксиального роста тонких пленок ....................................... 91
8.3. Жидкофазная эпитаксия ..................................................................................... 93
8.4. Газофазная эпитаксия из металлоорганических соединений.................... 96
8.5. Молекулярно-лучевая эпитаксия ...................................................................... 96
Вопросы для самопроверки ..................................................................................... 99

ЛЕКЦИЯ 9 КВАНТОВАЯ ИНЖЕНЕРИЯ ................. 100
9.1. Введение ............................................................................................................. 100
9.2. Размерное квантование. Квантовые точки ................................................... 101
9.3. Изготовление гетероструктур с квантовыми точками ................................ 104
9.4. Методы исследования СКТ .............................................................................. 106
9.5. Лазеры на самоорганизованных квантовых точках ................................... 109
9.6. Сверхрешетки ..................................................................................................... 110
Вопросы для самопроверки ................................................................................... 112

ЛЕКЦИЯ 10 МНОГОСЛОЙНЫЕ
НАНОСТРУКТУРЫ ................................................... 113
10.1. Многослойное осаждение посредством магнетронного распыления ... 113
10.2. Электролитическое осаждение ..................................................................... 116
10.3. Поверхностные наноструктуры .................................................................... 118
10.4. Получение поверхностных структур методом МЛЭ .................................. 120
10.5. Получение поверхностных структур методом газофазной эпитаксии.. 121
10.6. Химическая сборка поверхностных наноструктур .................................... 122
10.7. Низкоразмерные структуры на основе пористого кремния ..................... 125
 Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники. Курс лекций

4

ОГЛАВЛЕНИЕ

10.8. Углеродные нанотрубки ................................................................................. 128
Вопросы для самопроверки ................................................................................... 133

ЛЕКЦИЯ 11 ФИЗИЧЕСКАЯ ПРИРОДА
СВЕРХПРОВОДИМОСТИ ........................................ 134
11.1. Понятие сверхпроводимости ........................................................................ 134
11.2. Сверхпроводники первого и второго рода ................................................. 135
11.3. Теория Бардина – Купера – Шриффера ....................................................... 139
11.4. Эффект Джозефсона --">