В. А. Юзова , Г. Н. Шелованова - Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники: лаб. практикум

П. Электрические свойства пористого кремния / С. П. Зимин // ФТП. – 2000. – Т. 34, вып.3. – С. 359–363.
11. Нанотехнология: физика, процессы, диагностика, приборы / под
ред. В. В. Лучинина, Ю. М. Таирова. – М. : Физматлит, 2006. – 552 с.


Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники. Лаб. практикум

120

БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК

12. Барыбин, А. А. Электроника и микроэлектроника. Физикотехнологические основы / А. А. Барыбин. – М. : Физматлит, 2006. – 320 с.
13. Материаловедение: учеб. для вузов / Б. Н. Арзамасов, В. И. Макарова, Г. Г. Мухин и др.; под общ. ред. Б. Н. Арзамасова, Г. Г. Мухина. –
3-е изд., стереотип. – М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2002. – 250 с.
14. Ерамаков, О. Н. Мир электроники. Прикладная оптоэлектроника /
О. Н. Ерамаков. – М. : Техносфера, 2004. – 372 с.
15. Брандон, Д. Мир материалов и технологий. Микроструктура материалов. Методы исследования и контроля / Д. Брандон, У. Каплан; пер.
с англ. под ред. С. Л. Баженова. – М. : – Техносфера, 2004. – 384 с.
16. Долматов, В. Ю. Ультрадисперсные алмазы детонационного синтеза. Получение, свойства, применение / В. Ю. Долматов. – СПб. : Изд-во
СПбГПУ, 2003. – 344 с.
17. Алферов, Ж. И. История и будущее полупроводниковых гетероструктур / Ж. И. Алферов // Физика и техника полупроводников. – 1998. –
Т. 32, №1. – С. 3 – 18.
18. Пузырь А. П., Бондарь В. С. Патент RU 2252192 C2. МПК С01
В36/06. БИ 15 (2005).
19. Пузырь А. П., Бондарь В. С. Патент RU 2258671 C2. МПК С01
В36/06. БИ 23 (2005).
20. Юзова, В. А. Введение ультрадисперсного порошка алмаза детонационного синтеза в каналы пористого кремния / В. А. Юзова, А. П. Пузырь //
Письма в ЖТФ. – 2008. – Т. 34, вып. 10. – С. 34–38
21. Готра, З. Ю. Технология микроэлектронных устройств / З. Ю. Готра. – М. : Радио и связь, 1991. – 528 с.
22. Захаров, А. А Физико-химические основы размерной обработки
полупроводников. Механическая обработка : учеб. пособие / В. А. Юзова,
А. А.Захаров. – изд. 2-е, перераб. и доп. – Красноярск, 1999. – 182 с.



Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники. Лаб. практикум

121

--">